El alineador de máscara de un solo lado es un dispositivo óptico de alta precisión que se utiliza para alinear y calibrar retículas o máscaras durante la producción de semiconductores. Utiliza tecnología óptica avanzada y una estructura mecánica precisa para lograr operaciones de alineación de forma rápida y precisa, asegurando los mejores resultados para los pasos de fotolitografía en el proceso de producción.

 

 

1. Desembalaje:

No es necesario utilizar una sala limpia al desembalar y sacar la unidad principal y la caja de accesorios. Una vez desembalada, especialmente cuando cada unidad se saca de su caja de madera tipo bolsa de plástico sellada, se debe colocar inmediatamente en una habitación limpia.

Procedimiento de desembalaje:

a. Después de desmontar la caja grande, retire la cubierta de plástico y el desecante.

b. Retire la caja de accesorios alrededor de la unidad principal.

C. Retire las cuatro fijaciones de la unidad principal.

d. Levante la unidad principal manualmente y muévala al lugar donde se instalará en la sala de purificación.

 

2. Instalación y limpieza:

a. Limpiar cuidadosamente cada mesa portapelícula y portaplacas (incluidos los "repuestos"). Si no se utilizan repuestos, aún es necesario recubrirlos con aceite antioxidante y colocarlos en la caja de repuestos.

b. Ajuste la altura de las cuatro patas roscadas debajo del marco para que las cuatro esquinas del banco de trabajo queden a la misma altura.

C. Instale el cabezal de exposición (enviaremos a alguien para que lo instale)

d. Instale el microscopio (enviaremos a alguien para que lo instale), asegurándose de que los dos microscopios monoculares queden perpendiculares a la placa.

mi. Conexión de suministro eléctrico y fuente de gas. Conecte la fuente de alimentación, la fuente de gas y la fuente de vacío según las instrucciones. Si no hay una fuente de vacío en la sala de litografía del usuario, también se debe configurar una bomba de vacío TW-2A. La bomba de vacío no se puede instalar en la sala limpia, sino que debe instalarse fuera de la sala limpia e introducirse en la máquina a través de un tubo de vacío largo.

 

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